برای اطمینان از صحت یک فرآیند استریلیزاسیون، پایش فیزیکی یا مکانیکی، بیولوژیک، و شیمیایی انجام می شود. یک استریلایزر بخار پیش خلا، زمانی که به عنوان دستگاه بی خطرساز زباله به کار می رود نیز همان پایش های روتین را نیاز دارد.

در پایش فرآیند استریلیزاسیون، همواره سخت ترین شرایط و نقاط پایش می شوند تا اطمینان از وضعیت سایر شرایط و نقاط وجود داشته باشد.

هر وسیله یا ماده ای که استریل شود، به طور کلی برای آن که استریل بماند، باید بسته بندی شده باشد.

در صورتی که نیاز باشد یک وسیله استریل بماند، باید آن را پیش از انجام فرآیند استریلیزاسیون، بسته بندی کرد.

در پایش استریلایزرها، برخی آزمون ها با چمبر بدون بار انجام می شود و برخی آزمون ها با چمبر حاوی بار.

ایمنی در فرآیند شستشو بسیار اهمیت دارد و لازم است که کاربر با خطرات آشنا باشد و همچنین دسترسی کامل به تجهیزات محافظت فردی مناسب داشته باشد.